Flusssensoren
Die Bestimmung der Masse und des Volumens von Gasen und Flüssigkeiten ist eine alltägliche Aufgabe in Mikroanalysesystem und in der chemischen Mikroprozesstechnik. Das IMM bietet hierzu Konzepte, die auf der Bestimmung der thermischen Leitfähigkeit und der piezoresistiven Kraftaufnahme beruhen. Die Parameter können in einem weiten Flussbereich kundenspezifischen Wünschen angepasst werden.
- Thermischer Flusssensor
Ein Beispiel: thermischer Flusssensor
Ein am IMM entwickelter thermischer Flusssensor bestimmt den Wärmetransport einer geheizten Brücke auf die umgebenden Brücken. Der Einsatz von 5 Widerständen ermöglicht die Kompensation der druckabhängigen Messwerte.
- Material: Silizium mit stressoptimiertem Si3N4 als Trägermaterial für die Brücken
- Thermische Widerstände: mikrostrukturiertes Platin mit 5 µm Leiterbahnbreite
- Widerstand: 150 Ω
- Einsatzbereich: bis 250°C
- Anforderungsspezifische Simulation mittels FEM
- Verwendete Technologien: Low-Stress LPCVD Si3N4, Pt-sputtern, Lithographie, Lift-off, KOH-ätzen, ASE-ätzen
- Entwickelt für Symyx, USA
- Arbeitsprinzip
- Antwort des Flusssensors bei unterschiedlichen Arbeitspunkten
Kontakt: Dr. Peter Detemple, Abteilungsleiter Mikrostrukturierung und Sensorik,
Tel.: +49 6131 990/318
