Spezielle Sensoriklösungen
Im direkten Auftrag von Kunden aus Forschung und Industrie fertigt IMM anwendungsspezifische, siliziumtechnische Sensoren und andere MST-Sonderkomponenten als Einzelchargen sowie in fortlaufender Kleinserie. Zu den im Kundenauftrag hergestellten Produkten gehören derzeit u.a.
- Druck- und Scherkraftaufnehmer
- Flussratensensoren für Gase und Flüssigkeiten
- Wasserstoff- und Helium-selektive Membranen
- Cantilever-Spitzen, teils als Multi-Arrays, für Rastersondenverfahren und die Kraftspektroskopie
- Interdigitale und andere Mikroelektrodenstrukturen in vielfältigen Ausführungen für die chemische, biologische und medizinische Analytik
Hierbei kommt in aller Regel die besondere Expertise des IMM z.B. in der Tiefenstrukturierung von Silizium, der Herstellung spannungsoptimierter Funktionsschichten, des Edelmetall-Lift-off sowie der SOI-Waferprozessierung zum Tragen. Die erbrachten Fertigungsleistungen basieren oft auf vorangegangenen, in bilateralen Kooperationen oder im Rahmen von Forschungsverbünden durchgeführten Prozess- und Prototypenentwicklungen, die in Folge weiterqualifiziert wurden und nun für den Produkteinsatz hergestellt werden.
Da Entwicklung und Fertigung auf der gleichen Prozesslinie erfolgen, erübrigt sich ein meist zeit- und kostenaufwändiger Technologietransfer. Durch die damit verbundene Kosteneinsparung und Verkürzung der Time-to-market ergeben sich für den Auftraggeber sichtbare Wettbewerbsvorteile.
Kontakt: Dr. Peter Detemple, Abteilungsleiter Mikrostrukturierung und Sensorik,
Tel.: +49 6131/990 318
