Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik

Das BMBF-Vorhaben "Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik" (µ geoMess) hat eine Laufzeit von 2005-2008. Aufgabe des IMM ist das Taster- und Probenhandling im Projekt zu organisieren. Hierbei wurde ein komplettes Tastermodul mit integrierten Cantilever-Chips, entsprechendem Tasterschutz, Versandmodulen sowie Magazinierung entwickelt. Die Schnittstellenproblematiken wurden gelöst sowie das erforderliche Handling in Angriff genommen. Zum Ende des Projektes werden den Partnern die Module zu Testzwecken und zur Bestimmung der Spezifikationen zur Verfügung gestellt. Praxisproblemstellungen für Messtechnik und Standardisierung werden zudem mit Kunden und DIN-Fachausschüssen sowie den Messtechnikherstellern angegangen. Zusatzaspekte bei fehlenden Normalen im Mikrobereich wurden neben dem Geomess-Projekt in parallelen Entwicklungen versucht umzusetzen. Auf Wunsch können Mikroeinstell- und Mikrokonturnormale inklusive Messprotokolle für kritische Strukturen auf Nachfrage angeboten werden.

• Kugelkalottenwürfel
• Mikrokonturnormal 
• Messtaster