Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH

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Reacting Fast

Lesen Sie mehr im neuen Flyer Chemical Micro Process Technology made by IMM

IMM auf der ILMAC

nächste Messe
21.-24.09.2010
Halle 1.0, Stand E55
Basel, Schweiz 

Messtechnik

Interferometrisches Höhenprofil einer 1 Euro Münze

Die Mikrostruktur-Messtechnik am IMM dient vorwiegend der zerstörungsfreien Kontrolle von Reinraumprozessen. Sie wird jedoch auch abteilungsübergreifend für die allgemeine Qualitätskontrolle genutzt. Die vorhandenen Geräte stehen Kunden auch als externe Dienstleistung  zur Verfügung.

Das IMM verfügt über eine große Auswahl an Geräten für die optische und taktile Vermessung von Stufenhöhen, Bestimmung von Rauheiten nach DIN, Bestimmung verschiedenster Strukturgrößen der Mikrostrukturierung, Elementanalyse von Werkstoffen und Verunreinigungen, Kontrolle von Fertigungstoleranzen sowie vielfältige mikroskopische Untersuchungsmöglichkeiten.

Es können sowohl metallische als auch nichtmetallische Werkstoffe und Proben, z.B. Isolatoren, Kunststoffe, und organische Proben verschiedenster Eigenschaften untersucht werden.

Dabei sind Bestimmungen von Kenngrößen im Zentimeterbereich bis in den zweistelligen Nanometerbereich möglich.

REM-Aufnahme einer durch Interferenz hergestellten Lackstruktur

Am IMM stehen folgende Methoden der Mikrostruktur-Messtechnik zur Qualitätssicherung zur Verfügung:

- Rasterelektronenmikroskopie 
- Rasterkraftmikroskopie
- Energiedispersive Röntgenanalyse 
- Profilometrie
optisch
taktil                                                
- Weisslichtinterferometrie
- Koordinatenmessung
- Spektrometrie
- Härtemessung
- Ellipsometrie
- optisch Nahfeldmikroskopie
- Lichtmikroskopie
- Schichtdickenmessung

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